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超精密加工中的誤差分離

來(lái)源:寧波永靈航空 作者:小周 時(shí)間:2013-05-02

在超精密加工零件中，工件輪廓直線(xiàn)度誤差與溜板的直線(xiàn)運動(dòng)誤差處于同一數量級(通常為亞微米量級)。電容、電感傳感器有很高的分辨率和測量精度，很適合于高精度測量。但這類(lèi)傳感器測量的量程有限，所以用掃描法將位移測頭安裝在溜板上，沿工件的被測輪廓作直線(xiàn)運動(dòng)，或者將傳感器固定，工件隨溜板一起運動(dòng)，要想得到精確的工件輪廓直線(xiàn)度或溜板直線(xiàn)運動(dòng)誤差，便需要采用誤差分離的辦法。

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